第四百九十六章坚持
麻友公的眉头深深的皱了起来,不可🄒☤🁓置信的说道:“🕓这不可能!”
光刻机装🔒配过程中每一步都有质检,系统装配完毕之后还会有子系🎐🐌⚁统自检,直到出厂之前还会有全系统检测。
像这种高精度、高科技的设备,是要把误差从最基本的环节就🅓🆊控制在最小范🗽♢围的。⛧🜲而且泛翰集团也不可能如此托大,真的等intel的人来做最后的检测。
实际上今天这些过程本应该只是一次🄒☤🁓表演而已,胡老担心直播检测的过程有风险,周硕怎么可能不知道?但在intel💄的人检测之前,泛翰光学的工程师早就已经对这台光刻机,🎁🎅🎫进行过最细致、全面的检测。
整个系统完全达到了和intel签署合同的要求,这才是周硕敢直播检测过🚉程的底气。
他也相信,这么严重的事情,下面人绝不敢糊弄自己。既然之前的检测已经说明没有问题,那就断没有让int♲🌑el的人检测出问题的道理。
这也是为何麻🞍友公如此惊讶,大喊“这不可能”的原因。最后一次检测就是他负责⛧🜲的,更是他监督着手下人一项项得到了详尽的数据。🗕🛜🝑
六度工作🔒台的控制读数是关键数据,之前测得的数值他还记忆犹新,绝不是眼前这个少了10的数据!
“史蒂🂹📯夫先生,我们的光刻机不可能出现这种问题……”
史蒂夫眼睛一立,瞪道:“这么说,麻先生觉得是我的🎔🐴手下说谎了?”
“不,这……”
麻友公僵住了,他只是一个科学家,最多算半个管理者。处理这🏌😮🄰种突发事件,肯定不是他的强项。
但他还是坚定的相信,自己生产出来的光刻🗀😢机,在性能上绝对没有问题!
“我想,这可能是什么误🇫🛝🝗会。或许是检测设备出错,或者是操作🏌😮🄰过程不规范……”麻友公极力的辩解着。
然而🕯🍋史蒂夫却不这样认为,反而对麻友公的态度非常不满。中国人真是失败不起,明明产品出现问题,却非要从其他地方找原因。
这样想着,原本对麻友公的一些好感也没有了。他不耐烦的说道:“这不可能,测试设备都是经过精确调试的,至于操作规范,我们🏘🚚📽intel会连这些小事都做不好吗?詹姆斯,你来说说看!”
詹姆斯心中一笑,面上却不露声色,严肃的点头道:“史蒂夫,这是赤果果的污蔑!六度工作台的检测过程有🛒🛵着准确的规范,我当然不可能做出错误的操作。首先六度🚣🕑工作台的检测分🐺🄻为两大部分,分别是硬件检测和软件检测……”
詹姆斯在那里侃侃而谈,显示着自己对六度工作台的了解之深刻。这东西确实是非常精密的机械设备,复杂的电路控制、光感位移测量、瞬时定位补偿,还要涉及到新材料的🄌🟔🜶陶瓷制动器、球面柔性铰链和三组驱动单元。
六度工作平台能够让光刻机工作的时候,将外界传递到晶圆上🅓🆊的震动减少到最小状态。以亚微米级尺寸工作的光刻机,哪怕是人说话的声音,都能使其产生无法接受的误差。
正是依靠六自由度精密定位工作台的作用,才能让光刻机顺利的🏌😮🄰进行工作。尼康这条生产线使用的技术,甚至能对纳米级的震动进行补偿。但是如果控制系统的效率减少10,那将意味着🙧🌵这台光刻机生产的芯片成品率,将下降至少10,甚至是更多。
仅此一点,就已经相🁽😢当于判了泛翰光🄒☤🁓学制造的0。25微米光刻机死刑。