第四百九十六章坚持
麻友公的眉🎕头深深的皱了起来,不可置信的说道👤:“这不可能!”
光刻机装配过程中每一步都有质检,系统装配完毕之后还会有子系统自检,直到🅊出厂之前还会有全系统🖊检测。
像这种高😆精度、高科技的设备,是要把误差从最基本的环节就控制在最小范围的。而且泛翰集团也不可能如此托大,🞌💰真的等intel的🐻人来做最后的检测。
实际上今天这些过程本应该只是一次表演而已,胡老😑🀫⛓担心直播检测的过程有风险,周硕怎么可能不知道?但在inte🕞🔆l的人检测之前,泛翰光学的工程师早就已经对这台光刻机,进行过最细致、全面的检测。
整个系统完全达到了和intel签署合同的要求,😑🀫⛓😑🀫⛓这才是周硕敢直播检测过程的底气。
他也相信,这么严重的事情,下面人绝不敢糊弄自己。既然之前的检测已经说明没有问题,那就断没有让int🌄el的人检测出问题的道理。
这也是为何麻友公如此惊讶,大喊“这不可能”的原因。最后一次检测就是他负责的,更是他监督着手下人一项项得到了⚳详尽的数据。
六度工作台的控制读数是关🔩键数据,之前测得的数值他还记忆犹新🅫🉢,绝不是眼前这个少了10的数据!
“史蒂夫先生,我们的🐸🄨光刻机不可能出现🙮这种问题……”
史蒂夫眼😆睛一立,瞪道:“这么说,麻先生觉得是我的手下说谎了🅫🉢?”
“不,这……”
麻友公僵住了,他只是一个科学家,最多算⛙🚸半个管理😑🀫⛓者。处理这种突发事件,肯定不是他的强项。
但🃗🗺他还是坚定的相🍗☹信,自己生产出来的光🙮刻机,在性能上绝对没有问题!
“我想,😆这可能是什么误会。或许是检测设备出错,或者是操作过程不规⛗🚥🕢范……”麻友公😓🀻🁽极力的辩解着。
然而史蒂夫却不这样认为,反而对麻友公的态度非常不🀰满。中国人真是失⛗🚥🕢败不起,明明产品出现问🞐📕题,却非要从其他地方找原因。
这样想着,原本对麻友公的一些好感也🚋没有了。他不耐烦的说道:“这不可能,测试设备都是经过精确调试的,至于操作规范,我们intel会连这些小事都做不好吗?詹🖂🏴姆斯,你来说说看!🞱🗸☳”
詹姆斯心中一笑,面上却不露声色,严肃的点头道:“史蒂夫,这是赤果果的污蔑!六度工作台的检测过程有着准确的规范,我当然不可能做出错误的操作。首先六度工作台的检测分为两🅭大部分,分别是硬件检测和软件检测……”
詹姆斯在那里侃侃而谈,显示着自己对六度工作台的了解🔗🀱🀧之深刻。这东西确实是非常精密的机械设备,复杂的电路控制、光感位移测量、瞬时定位补偿,还要涉及到新材🍕🇸料的陶瓷制动器、球面柔性铰链和三组驱动单元。
六度工作平台能够让光刻机工作的时候,将外界传递到晶圆上的震动减少到最小状态。以亚微米级🞐📕尺寸工作的光刻机,哪怕是人说话的声音,♁🅚都能使其产生无法接受的误差。🖂🏴
正是🏳依靠六自由度精密定位工作台的☩🂁作用,才能让光刻机顺利的进行工🃋🖌👊作。尼康这条生产线使用的技术,甚至能对纳米级的震动进行补偿。但是如果控制系统的效率减少10,那将意味着这台光刻机生产的芯片成品率,将下降至少10,甚至是更多。
仅此一点,就📓已经相当于判了泛翰🆝🐣🁫光学制造的0👤。25微米光刻机死刑。